Лазерный диод изготавливается на основе полупроводниковых материалов, таких как галоиды арсенида галия (GaAs), фосфида индия (InP) и др. Процесс изготовления лазерного диода включает несколько этапов.

1. Выращивание кристалла. Кристалл GaAs или InP выращивается методом эпитаксии, при котором материалы наносятся на подложку с помощью специальной установки. Это создает одноструктурный материал, подходящий для изготовления кристалла.
2. Формирование основы. Кристалл разрезается на тонкие пластины, которые подвергаются химической обработке для создания плоской поверхности и удаления примесей. Затем на поверхность наносится сверхтонкий слой металла (обычно олова и золота).
3. Нанесение маскировочного слоя. На слой металла, который содержит 1750nm laser diode, наносится фотоустойчивая маска, подготовленная специальным технологическим процессом. Маскаруются места, где будут расположены проводники, контакты и другие элементы кристалла.
4. Травление. После маскировки проводится травление металла и окисление. Это образует токовые контакты с основой, необходимые для подключения кристалла.
5. Диффузия и ионная имплантация. На поверхность кристалла проводят ионную обработку, чтобы изменить его свойства и создать зоны поглощения и излучения света. На следующем этапе проводится процесс легировки, когда материалы замещают оригинальный материал в зонах излучения.
6. Монтаж компонентов. Кристалл фиксируется на подложке, а наружные контакты подключаются к проводникам, которые можно использовать для управления излучением.
Читать дальше →